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发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 项目名称 | 磁溅射薄膜沉积仪等功能材料专业教学仪器 | 项目编号 | ***-************ |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | **** | 付款方式 | 货到验收付款 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预算总价 | ￥ ******.** + *** + *** | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | ****磬苑校区材料科学大楼**** | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 静音无油机 | 1 | 台 | 无无 |
| 品牌品牌1 | 浙江永源机电制造有限公司 |
|---|---|
| 型号 | ***** |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ****.** |
| 技术参数及配置要求 | *、技术参数： 1.排气口尺寸：1/4 2.电压：**** 3.功率：**** 4.压力：0.**** 5.气量：***/*** 6.冷却方式：风冷 *、付款方式： 项目完成验收合格付款。 *、质疑与答复： 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《****非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在****采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：*********@**.*** 。****国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：********，联系人：***。逾期不予受理。 *、特别提醒： 1.供应商须符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同*项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同*竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任*行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 （1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的； （2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的； （3）不按竞价要求或合同约定履约的； （4）其他违反法律法规和采购规定的。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 公司中标后送货上门，负责安装调试；本项目要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之*：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：合肥市; |
采购清单2
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 双级旋片式真空泵 | 1 | 台 | 无无 |
| 品牌品牌1 | 浙江飞越真空科技有限公司 |
|---|---|
| 型号 | ***-** |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ****.** |
| 技术参数及配置要求 | *、技术参数： 1.抽速：6.***/h（L/s） 2.极限分压力-关闭气镇 ** 4***-2 3.极限全压力-关闭气镇 ** 4***-1 4.极限全压强-开启气镇 ** 8***-1 5.电机转速（**/****） *** ****/**** 6.尺寸（L*W*H) ** *********** 需配合实验室化学沉积系统使用 *、付款方式： 项目完成验收合格付款。 *、质疑与答复： 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《****非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在****采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：*********@**.*** 。****国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：********，联系人：***。逾期不予受理。 *、特别提醒： 1.供应商须符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同*项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同*竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任*行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 （1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的； （2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的； （3）不按竞价要求或合同约定履约的； （4）其他违反法律法规和采购规定的。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 公司中标后送货上门，负责安装调试；本项目要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之*：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：合肥市; |
采购清单3
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 全自动酶标分析仪 | 1 | 台 | 无无 |
采购清单4
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁溅射薄膜沉积仪 | 1 | 台 | 无无 |
| 品牌品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 | *、技术参数及要求： 推荐品牌型号为杭州大华仪器制造有限公司（型号：*******-***）和西安超凡光电设备有限公司（型号：**-*****） （*）产品概述 系统可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜,可镀金属、合金、氧化合物、氮化合物、半导体、陶瓷膜、介质 复合膜等。 该系统为单机结构，主要由溅射沉积室、磁控溅射靶、样品台、基片加热组件、溅射电源、工作气路、真空抽气系 统、真空测量和控制单元等部分组成。 （*）设备主要技术参数： 1、溅射沉积室 真空腔室、连接管道和法兰均采用 ****** 不锈钢，材料致密放气量小；溅射沉积室为前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在顶部，载样转台在下底板，腔室带防污内衬，可拆卸清 洗； 1）沉积室尺寸: D型圆筒形，尺寸约ф***×******，前开门结构； 2）前门结构：采用铰链、手动，上下 2个杠杆把手，双胶圈密封； 3）前门观察窗：可视直径为 ****观察窗，观察窗带有磁力耦合传动开启挡板，方便观察工作时的情况； 4）载样台：从腔体底部接入，溅射靶从顶部接入，*****抽气法兰接口放置在腔体后部，用于联接分子泵； 5）后侧连接抽气接口，管道直径*******，抽气口带粗过滤防止大物掉落。 6）腔体带*个 **** 的观察窗，安装 ***照明灯，用于腔体照明。 7）腔体带加热烘烤除气装置；对腔体进行***—***℃的高温烘烤，有利于提高真空度。 加工工艺与技术指标：采用高真空腔室焊接，清洗工艺，采用进口氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于 1.0 ×**-****/**/s；内外表面电解抛光处理 2、真空系统 2.1抽气系统 1）采用复合分子泵+直联旋片泵作为真空抽气系统；带旁抽管路，可不停分子泵破空腔体。 2）主抽泵：分子泵抽速≥****/S，氮气压缩比≥***； 3）前级泵：采用 ***-** 机械泵及电磁阀，抽速：**/S 4）主抽阀： **-****（**）超高真空手动闸板阀 5）前级、旁抽阀：***-*** 气动挡板阀 2.2 真空测量 1）采用全量程数显复合真空计进行测量。 2.3 系统性能指标： 1）极限真空度：优于 **-*** (空载经烘烤除气后） 2）恢复真空：从大气抽至 6.**- ***≤*****（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气） 3）真空室漏率：关机 **小时真空度≤***（新设备空载） 3、样品台 1）载样台：载样品台尺寸约Φ***,可以根据客户样品形状和大小定制样品托（不超过上述尺寸） 2）样品台旋转：转速 5-***** 连续可调； 3）样品台加热：最高温度≥***℃，自动控温及数字显示，精度±0.5℃，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性 ±5℃。 4）基片可以加-**** 偏压电源； 4、磁控溅射靶组件(安装*个磁控溅射靶组件) 1）磁控溅射靶磁路模块化设计，方便不同应用随时更换，磁场不泡水，长阴极寿命；2）磁控靶可手动调节溅射角度，靶与基片的距离可调； 3）靶头内有水冷并配有屏蔽罩和气动控制挡板； 4）其中至少*个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等） 5）靶材大小为直径 **.***，建议厚度≤***，靶材利用率超过 **% 6）镀膜方式：由上往下溅镀； 5、进气气路 1）质量流量计控制 2 路进气，可外接多种气体（如 **、** 、** 等，气瓶除外），其中 ** 流量 *** ****， ** 流量为 *******，** 流量为 ****** 控制精度±1%； 2）前端带电磁截止阀，后端配有混气室； 6、溅射电源 1）射频电源：功率 ****，输出频率：**.*****，全自动匹配 数量 1 套 2）直流溅射电源：最大输出功率：****；输出电压：0～-**** 可调 数量 1 套 7、水路系统：****** 不锈钢水排，4 进 4出，保障循环供水到每个水冷部件；水压继电器，总进水采用水压继电器检测供水及水压状态，执行异常报警。 8、阀门气路单元 1）电接点压力表，用于气体压力不足报警 2）气路分配单元，用于各阀门之间分气使用 3）配超静音无油空压机 1 台 9、控制单元 电气控制系统采用***+液晶屏控制方式，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索； 控制内容： a)真空系统自动运行及过程逻辑安全保护； b)系统保护：阀门逻辑互锁保护，水气压报警、腔体门位置报警功能，设备过流过压保护，急停保护； c)数显：真空状态显示、分子泵工作状态及转速显示、真空泵阀工作状态显示。基片、腔体实时及设定温度显示， 显示抽气曲线，并显示抽气时间。 d)可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示 安全保护措施： 高压保护：所有引线端子处设有屏蔽外壳并高压标识； 断电保护：程序设定非正常停机放气阀不开启； 可以实现自动抽真空，自动停机功能。工艺部分手动操作手动急停按键：在人为发现问题时，可手动急停设备，按下可关闭插板阀，分子泵，以及关闭所有电源。位于电气控 制柜 *、报价要求： 供应商报价时从推荐品牌型号杭州大华仪器制造有限公司（型号：*******-***）和西安超凡光电设备有限公司（型号：**-*****）中选择1个进行报价，报价时在竞价网品牌型号栏目注明所报品牌，不注明或者注明其他品牌型号的为无效报价。 *、付款方式： 项目完成验收合格付款。 *、质疑与答复： 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《****非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在****采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：*********@**.*** 。****国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：********，联系人：***。逾期不予受理。 *、特别提醒： 1.供应商须符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同*项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同*竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任*行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从****供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 （1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的； （2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的； （3）不按竞价要求或合同约定履约的； （4）其他违反法律法规和采购规定的。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 公司中标后送货上门，负责安装调试；本项目要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之*：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：合肥市; |
采购清单5
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 微量高速离心机 | 1 | 台 | 无无 |
采购清单6
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 集中式统*存储系统 | 1 | 项 | 无无 |
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